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度亙激光技術-高端半導體激光芯片生產項目基本情況

日期:2019-05-25   作者:盛世華為
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江苏快三三同号遗漏期多少 www.mcikov.com.cn 一、建設項目基本情況

項目名稱

度亙激光技術(蘇州)有限公司新建高端半導體激光芯片生產項目

建設單位

度亙激光技術(蘇州)有限公司

法人代表

趙衛東

通訊地址

蘇州工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城19

建設地點

蘇州工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城19

原輔材料(包括名稱、用量)及主要設施規格、數量(包括鍋爐、發電機等)

本項目主要原輔料及理化性質見下表1-1和表1-2。項目主要生產設備見表1-3。

水及能源消耗量

  

消耗量

  

消耗量

水(噸/年)

12734

燃油(噸/年)

/

電(萬千瓦時/年)

200

燃氣(標立方米/年)

/

燃煤(/)

/



廢水(工業廢水、生活廢水)排水量及排放去向

本項目生產廢水經廢水處理系統預處理后部分回用,部分(5694t/a)處理達標后接市政污水管網進入園區污水處理廠處理達標后排放,生活污水(3000t/a),接市政污水管網進入園區污水處理廠處理達標后排放。

放射性同位素和伴有電磁輻射的設施的使用情況

 

 

半導體產品相關參數(參考) 


名稱

規格

年消耗量

最大存儲量

單位

包裝規格

來源及運輸



外延片生產原輔料

GaAs基片

直徑4英寸

7000

1000

25×30盒,外延廠房

國外、海陸



氫氣

氣態,99.99%

15

/

t

氣站

依托出租方氣站



氮氣

液態,99.99%

75

/

t

氣站

依托出租方氣站



砷烷

氣態,99.99%

36

27

kg

27kg/瓶,特氣庫

國外、海陸



磷烷

氣態,99.99%

15

20

kg

20kg/瓶,特氣庫

國外、海陸



硅烷

氣態,99.99%

36

30

kg

30kg/瓶,特氣庫

國外、海陸



三甲基鋁

液態,99.99%

10

1

Kg

200g/瓶,化學品庫

國外、海陸



三甲基鎵

液態,99.99%

10

4

kg

4kg/瓶,化學品庫

國外、海陸



三甲基銦

固態,99.99%

10

2

kg

400g/瓶,化學品庫

國外、海陸



H2Se

99.99%

5

30

kg

30kg/,化學品庫

國外、海陸



高功率激光晶圓

外延片

依圖紙設計

2000

500

原料

國內、陸運



氨氣

99.99%氣體

3.6

22.7

kg

22.7kg/

國外、海陸



四氟化碳

99.99%氣體

4

30

kg

30kg/

國外、海陸



六氟化二碳  C2F6

99.99%氣體

2

30

kg

30kg/

國外、海陸



氬氣

99.99%氣體

4

19.2

Kg

19.2kg/

國內、陸運



氦氣

99.99%氣體

1.5

1.92

kg

1.92kg/

國外、海陸



三氟甲烷

99.99%氣體

2

30

kg

30kg/

國外、海陸



六氟化硫

99.99%氣體

2

50

kg

50kg/

國外、海陸



一氧化二氮

99.99%氣體

2.7

27

kg

27kg/

國內、陸運



氯氣

99.99%氣體

5

50

kg

50kg/

國外、海陸



三氯化硼

99.99%氣體

5

50

kg

50kg/

國外、海陸



丙酮

99.99%液態

7000

500

Kg

4.25kg/

國外、海陸



NMP

99999%液態

8000

500

kg

4kg/

國內、陸運



異丙醇

99.99%,液態

7000

500

kg

3.1kg/

國外、海陸



鹽酸

37%

1500

500

kg

4.7kg/

國外、海陸



硫酸

液體,98%

200

20

kg

7.3kg/

國內、陸運



雙氧水

液體,28%

1000

100

kg

4.5kg/

國內、陸運



氨水

液體,30%

1000

100

kg

4kg/

國內、陸運



BOE

HF:NH4OH=1:7

200

20

kg

4kg/

國內、陸運



無水乙醇

液體,99.99%

510

50

kg

3.2kg/

國內、陸運



顯影液

液體,99.99%

1000

100

kg

4kg/

國內、陸運



光刻膠

液體,99.99%

50

5

kg

1kg/

國內、陸運



增粘劑(HMDS

液體,99.99%

20

5

kg

1kg/

國內、陸運



固體,99.99%

336

100

g

100g/

國內、陸運



固體,99.99%

720

100

g

100g/

國內、陸運



固體,99.99%

2256

100

g

100g/

國內、陸運



固體,99.99%

100

100

g

100g/

國內、陸運



固體,99.99%

200

100

g

100g/

國內、陸運



石蠟

固體

40

20

kg

10kg/

國內、陸運



研磨液

液體

1000

100

kg

200kg/

國內、陸運



拋光液

液體

300

30

kg

200kg/

國內、陸運



亞硫酸金鈉溶液

液體

230

50

L

50L/

國內、陸運



純水

--

450

/

m3

/

自制



自來水

--

2100


m3

/

市政供水



能源

--

200


KWh

/

市政供電



名稱

理化性質

毒理性質

防護要求與急救措施

硫酸

H2SO4

純品為無色透明油狀液體,無臭。熔點:10.5,沸點:330.0,蒸汽壓:0.13kPa(145.8),相對密度(=1)1.83,相對密度(空氣=1)3.4。與水混溶。

8.1類酸性腐蝕品(81007)

LC50510mg/m3,
2小時(大鼠吸入)

可能接觸其蒸氣或煙霧時,必須佩戴防毒面具或供氣式頭盔;緊急事態搶救或逃生時,建議佩帶自給式呼吸器;戴化學安全防護眼鏡;穿工作服(防腐材料制作);戴橡皮手套;工作后,淋浴更衣;單獨存放被毒物污染的衣服,洗后再用。保持良好的衛生習慣。

【皮膚接觸】脫去污染的衣著,立即用水沖洗至少15分鐘?;蠐?/span>2%碳酸氫鈉溶液沖洗。就醫?!狙劬喲ァ苛⒓刺崞鷓垌?,用流動清水或生理鹽水沖洗至少15分鐘。就醫?!疚搿墾桿僂牙胂殖≈量掌孿蝕?。呼吸困難時給輸氧。給予2-4%碳酸氫鈉溶液霧化吸入。就醫?!臼橙搿課蠓吒D?、蛋清、植物油等口服,不可催吐。立即就醫。

鹽酸

HCl

外觀與性狀:無色或微黃色發煙液體,有刺鼻的酸味。熔點():-114.8(純);沸點():108.6(20%);相對密度(水=1):1.20;相對蒸氣密度(空氣=1):1.26;飽和蒸氣壓(kPa):30.66(21);溶解性:與水混溶,溶于堿液。主要用途:重要的無機化工原料,廣泛用于染料、醫藥、食品、印染、皮革、冶金等行業。

/

【皮膚接觸】立即用水沖洗至少15分鐘?;蠐?碳酸氫鈉溶液沖洗。若有灼傷,就醫治療?!狙劬喲ァ苛⒓刺崞鷓垌?,用流動清水沖洗10分鐘或用2碳酸氫鈉溶液沖洗?!疚搿墾桿僂牙胂殖≈量掌孿蝕?。呼吸困難時給輸氧。給予2-4碳酸氫鈉溶液霧化吸入。就醫?!臼橙搿課蠓吡⒓詞?,給牛奶、蛋清、植物油等口服,不可催吐。立即就醫。

滅火方法:霧狀水、砂土。

雙氧水

H2O2

無色透明液體,有微弱的特殊氣味。熔點:-2(無水),沸點:158(無水),蒸汽壓:0.13kPa(15.3),相對密度(=1)1.46(無水)。溶于水、醇、醚,不溶于苯、石油醚。

5.1類氧化劑(51001)

LD504060mg/kg
(大鼠經皮)

LC502000mg/m3,4小時(大鼠吸入)

可能接觸其蒸氣時,應該佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩);呼吸系統防護中已作防護;穿聚乙烯防毒服;戴氯丁橡膠手套;工作現場嚴禁吸煙;工作畢,淋浴更衣。注意個人清潔衛生。

【皮膚接觸】脫去被污染的衣著,用大量流動清水沖洗?!狙劬喲ァ苛⒓刺崞鷓垌?,用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫?!疚搿墾桿僂牙胂殖≈量掌孿蝕?。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫?!臼橙搿懇懔課濾?,催吐,就醫。

丙酮

CH3COCH3

無色透明易流動液體,有芳香氣味,極易揮發。熔點:-94.6(無水),沸點:56.5(無水),蒸汽壓:53.32kPa(39.5),閃點:-20,相對密度(=1)0.80,相對密度(空氣=1)2.00。與水混溶,可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油類、烴類等多數有機溶劑。

3.1類低閃點液體(31025)

LD505800mg/kg
(大鼠經口)

空氣中濃度超標時,佩戴過濾式防毒面具(半面罩);一般不需要特殊防護,高濃度接觸時可戴化學安全防護眼鏡;穿防靜電工作服;戴橡膠手套;工作現場嚴禁吸煙;注意個人清潔衛生;避免長期反復接觸。

【皮膚接觸】脫去被污染的衣著,用肥皂水和清水徹底沖洗皮膚?!狙劬喲ァ刻崞鷓垌?,用流動清水或生理鹽水沖洗。就醫?!疚搿墾桿僂牙胂殖≈量掌孿蝕?。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫?!臼橙搿懇懔課濾?,催吐,就醫。

三甲基鎵

Ga(CH3)3

在常溫常壓下為無色透明有毒液體。熔點:-15.8,沸點:55.8,閃點:-18,蒸氣壓:37.0kPa(30),液體密度(15,100kPa)1151kg/m3,氣體密度:4.0kg/m3。在已烷、庚烷等脂肪族飽和烴和甲苯、二甲苯等芳香族烴中以任何比例相溶,與水激烈反應放出甲烷氣。在空氣中易氧化,在室溫自燃,燃燒時發出金屬氧化物白煙。高溫時自行分解。

三甲基鎵接觸皮膚能引起組織破壞和燒傷。三甲基鎵的燃燒產物氧化物白煙,能刺激和腐蝕眼、皮膚和呼吸道粘膜,損傷支氣管、肺和腎,嚴重時可引起肺水腫。

貯液鋼瓶內的液面要用N2、Ar等惰性氣體?;?。容器及用氣設備裝置必須事先烘干,抽真空,用惰性氣體清洗,趕出空氣和水分。經探漏,在確保密封的情況下使用。

三甲基著火時,滅火比較困難。一般是用干粉、干砂、二氧化碳和礫石來控制火勢,防止火災蔓延到別處,直至其完全燃燒掉。絕不可用水、泡沫和鹵代烴滅火劑。

當三甲基鎵泄漏時,首先要切斷所有火源,然后用不燃性分散劑制成的乳劑洗刷,或用干燥砂土吸收后拿到空曠地方掩埋。污染的地面要用肥皂或洗滌劑洗刷,洗水經稀釋后排入廢水系統。

三甲基鋁

Al(CH3)3

在常溫常壓下為無色透明液體。無色液體,熔點:15,沸點:126,閃點:-18,密度:0.752g/cm3。溶于乙醚、飽和烴類等有機溶劑。反應性極強??掌兇勻?,瞬間就能著火。與具有活性氫的酒精類、酸類激烈反應。與水反應激烈,既使在冷水中也能產生爆炸性分解反應,并生成甲烷,有時還能發火。

接觸皮膚能引起組織破壞和燒傷。在空氣中自燃時發出對人體有害的氧化鋁煙霧,能刺激和腐蝕眼、皮膚和呼吸道粘膜,人吸入后氣管和肺受損傷,嚴重時能引起肺水腫。

著火時,一般的對策是先切斷所有火源,隔絕其它可燃物,用干粉、干砂、二氧化碳、礫石等來控制火勢,使火災不蔓延到別處。絕不能使用泡沫及四氯化碳等鹵代烴滅火劑。

當三甲基鋁泄漏時,首先要切斷所有的火源,然后用不燃性分散劑制成的乳劑刷洗。如果沒有分散劑,可用干燥砂土吸收后拿到空曠處掩埋,或者用蘇打粉混合泄漏液后放在空曠處的大鋼盤上,上面用廢木料或紙蓋住,并在嚴格監督下燒掉。受污染的地面要用肥皂或洗滌劑洗刷,洗水經稀釋后排入廢水系統。

三甲基銦

In(CH3)3

在常溫常壓下為無色透明具有特殊臭味的升華性無色結晶。熔點:89,沸點:135.8,蒸氣壓:0.960kPa(30)。與己烷、庚烷等脂肪族飽和烴,甲苯、二甲苯等芳香族烴以任意比例相溶。遇冷水部分水解放出甲烷氣體??掌兇勻?。具有毒性、對眼睛、呼吸道有刺激性,可致肺水腫,皮膚接觸可被灼傷。

 

H2

無色無味氣體。熔點:-259.2,沸點:-252.8,蒸汽壓:13.33kPa(-257.9),閃點:<-50,相對密度(=1)0.07(-252),相對密度(空氣=1) 0.07。不溶于水,不溶于乙醇、乙醚。

2.1類易燃氣體(21001)

/

呼吸系統一般不需要特別防護,高濃度接觸時可佩帶空氣呼吸器;眼睛一般不需要特別防護;穿防靜電工作服;戴一般作業防護手套;工作現場嚴禁吸煙;避免高濃度吸入;進入罐、限制性空間或其它高濃度區作業,須有人監護。

【吸入】迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。

N2

無色無臭氣體。熔點:-209.8,沸點:-195.6,蒸汽壓:1026.42kPa(-173),相對密度(=1)0.81(-196),相對密度(空氣=1) 0.97。微溶于水、乙醇。

2.2類不燃氣體(22005)

/

呼吸系統一般不需特殊防護;當作業場所空氣中氧氣濃度低于18%時,必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長管面具;眼睛一般不需特殊防護;穿一般作業工作服;戴一般作業防護手套;避免高濃度吸入;進入罐、限制性空間或其它高濃度區作業,須有人監護。

【吸入】迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。呼吸心跳停止時,立即進行人工呼吸和胸外心臟按壓術。就醫。

NH3

無色有刺激性惡臭的氣體。熔點:-77.7,沸點:-33.5,蒸汽壓:506.62kPa(4.7),相對密度(=1)0.82(-79),相對密度(空氣=1) 0.6。易溶于水、乙醇、乙醚。

2.3類有毒氣體(23003)

LD50350mg/kg
(大鼠經口)

LC501390mg/m3,4小時(大鼠吸入)

空氣中濃度超標時,建議佩戴過濾式防毒面具(半面罩);緊急事態搶救或撤離時,必須佩戴空氣呼吸器;戴化學安全防護眼鏡;穿防靜電工作服;戴橡膠手套;工作現場嚴禁吸煙、進食和飲水;工作畢,淋浴更衣;保持良好的衛生習慣。

【皮膚接觸】立即脫去被污染的衣著,應用2%硼酸液或大量流動清水徹底沖洗。就醫?!狙劬喲ァ苛⒓刺崞鷓垌?,用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫?!疚搿墾桿僂牙胂殖≈量掌孿蝕?。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。

砷烷

AsH3

無色、劇毒、可燃氣體,有大蒜氣味。熔點:-116.9,沸點:-62.5,氣體密度:3.24g/L(20),液體密度:1339kg/m(20),水中溶解度:0.07 g/100 ml (25 °C)

LC50:250 mg/m3,10分鐘(小鼠吸入)

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并立即隔離450m,嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。噴霧狀水稀釋、溶解。構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水。如有可能,將漏出氣用排風機送至空曠地方或裝設適當噴頭燒掉。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用?!?/span>吸入】:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。

磷烷

PH3

無色、劇毒氣體,有魚腥臭氣味。熔點:-134,沸點:-87.8,氣體密度:1.379g/L25),水中溶解度:31.2mg/100ml(17 C)

LC50: 380mg/m3,2小時(小鼠吸入)

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并立即隔離450m,嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。噴霧狀水稀釋、溶解。構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水。如有可能,將漏出氣用排風機送至空曠地方或裝設適當噴頭燒掉。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用?!?/span>吸入】:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。

類型

使用工序

設備名稱

型號及規格

數量(臺/套)


生產設備

外延片生產

外延爐

Aixtron 2800

2


高功率激光晶圓

光刻機

/

2


清洗臺

/

2


等離子體化學氣相沉積

/

2


干法蝕刻機

/

1


金屬鍍膜機

/

2


減薄拋光機

/

1


快速退火爐

/

1


涂膠臺

/

1


顯影臺

/

1


解離機

/

1


腔面鍍膜機

/

1


測試系統

/

1


熱板

/

1


公輔設備

輔助工程

空壓機

/

1


冷卻塔

/

1


純化水制備系統

/

1


環保工程

Mocvd尾氣處理設備

/

1


酸洗設備

/

1


堿洗設備

/

1


活性炭吸附塔

/

1